东曹石英株式会社

关于石英玻璃

石英玻璃如同其名字,是玻璃的一种,但是一般的玻璃是由许多成分所构成的,而石英玻璃几乎仅含有SiO2。因为石英玻璃中所含有的金属不纯物的量极少,最多的含有量为10ppm(10万分之一),最少的仅有10ppb(1亿分之1)以下。因为本身的纯度极高,因此石英玻璃拥有其他玻璃所无法比拟的优异特性。

石英玻璃的主要特性

关于石英玻璃素材

本公司从关联企业-东曹SGM株式会社制备的石英玻璃素材中,挑选出最适合顾客所要求品质和规格的素材来制造产品。 本网站有关于本公司所使用的石英玻璃素材的产品线及其相关的特性介绍, 关于更详细的素材信息,请检索东曹株式会社的网站。

石英玻璃素材系列

分类 制造方法 等级名称 特点
熔融石英 氢氧熔融 N 气泡较少的半导体用标准等级
NP N的高纯度品
S 具有良好透光度的超高纯度熔融石英玻璃
OP-1 半导体用白色不透明石英
OP-3 半导体用白色不透明石英的高纯度品
OP-3HD 提高了OP-3表面平滑度的等级
电熔融 HR 耐热性佳的半导体用标准等级
HRP HR的高纯度品
合成石英 火焰水解
(直接法)
ES 通用光学用品
ESL-1 在一个方向没有条纹
ESL-1000 在一个方向没有条纹、耐准分子激光
ESL-2 在三个方向没有条纹
ESL-2000 在三个方向没有条纹、耐准分子激光
火焰水解
(VAD法)
ED-H 在三个方向没有条纹的含水等级
ED-C 完全无水等级(OH基浓度<1ppm)

纯度

熔融石英玻璃主要以天然水晶为原料加工制成,合成石英玻璃作为主要以SiCl4为原料制成。在不纯物质的含量方面, 熔融石英玻璃是ppm级,而合成石英玻璃仅有ppb级。

◎代表性石英玻璃素材的化学分析示例
単位:ppm
种别 等级 Al Ca Cu Fe Na K Li Mg OH
熔融 透明 N 8 0.6 <0.01 0.2 0.6 0.1 0.07 0.06 200
NP 7 0.5 <0.01 0.1 0.1 0.04 0.07 0.02 200
S 0.7 <0.01 <0.01 0.05 0.1 <0.01 <0.01 <0.01 160
HR 15 0.6 0.02 0.2 0.8 0.6 0.5 0.1 10
HRP 15 0.6 0.01 0.2 0.2 0.6 0.2 0.1 10
不透明 OP-1 8 0.7 <0.01 0.2 0.6 0.3 0.07 0.06 160
OP-3 8 0.6 <0.01 0.2 0.08 0.1 0.07 0.04 160
OP-3HD 8 0.6 <0.01 0.2 0.08 0.1 0.07 0.04 160
合成 透明 ES*1 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 1000
ED-C <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <1
ED-H <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <100

※数值为代表值,并非保证值。

*1:ESL-1,ESL-2,ESL-1000,ESL-2000的纯度与ES的纯度是同等的

化学特性

拥有极佳的耐化学药品特性的石英玻璃最适合用作多种化学溶剂或是酸溶液的蒸馏以及溶解和清洗用容器等使用。但是,若在氢氟酸,磷酸,碱液和碱金属化合物溶液及其环境下,容易导致石英玻璃溶蚀或是玻璃表面发生失透现象,因此若是长时间使用时请特别注意。

◎石英玻璃的反应性(酸,碱)
溶液 条件 减重(g/m2
浓度(%) 温度(℃) 时间(Hr)
碱溶液 NH4OH 10 20 100 0.19
NaOH 1 20 100 0.31
10 20 100 0.095
5 100 10 15
8 100 10 12.1
KOH 1 20 100 0.19
30 100 10 0.27
10 10 100 11.3
Na2CO3 5 20 100 0.015
10 100 10 3.7
酸溶液 H2SO4 98 205 24 0.06
98 20 240 0.016
HNO3 65 115 24 0.11
65 20 240 0.06
HCl 37 66 24 0.14
37 20 240 0.18

※数值为代表值,并非保证值。

◎石英玻璃的反应性(金属・其他)
金属 Al, Mg 在700-800℃快速反应
Au, Ag, Pt 无反应
Zn, Sn, Pb 无反应
Si 在熔融时稍有反应
Ge 在900℃无反应
Mo, W 无反应
氧化物 Al2O3 900℃以上时缓慢反应
CaO 在900℃以上反应
CuO 在800℃以上反应
Fe2O3 在900℃以上反应
PbO 在熔融状态剧烈反应
MgO 在900℃以上稍有反应
ZnO 在420℃(锌的熔点)以上反应
气体 CO, SO2 无反应
N2, O2 无反应
Cl2 无反应
F2 在干燥环境下及在300℃以下无反应
H2 无反应
HCl 无反应
BaCl2 在熔融状态反应
BaSO4 在700℃以上反应
CaCl2 在800℃(氯化钙的熔点)稍有反应
KCl 高温状态下容易加速失透
KF 熔融状态剧烈反应
NaCl 在800℃以上显著反应
Na2SO4 无反应

光学特性

作为光学用素材,品种有ES系列及ED系列。两种系列都是以高纯度SiCl4为原料制成的合成石英玻璃,几乎无没有不纯物、气泡和异物等, 在真空紫外线及红外线广泛的波长范围内都呈现优越的透光性。

◎代表性石英玻璃素材的光学特性
等级 条纹*1 均质性*2
Δn(x10-6
畸变
(nm/cm)
准分子激光的耐受性 适用波长*3
(nm)
ES 忽略 忽略 1~20 忽略 180~2,100
ESL-1 1D 3~10(有效:φ300mm) 1~10 忽略 180~2,100
ESL-1000 1D 3~10(有效:φ300mm) 1~10 可商量*4 180~2,100
ESL-2 3D <10(有效:φ300mm) 1~10 忽略 180~2,100
ESL-2000 3D <10(有效:φ300mm) 1~10 可商量*4 180~2,100
ED-H 3D 5~10(有效:φ180mm) 1~10 忽略 170~2,600
ED-C 忽略 忽略 1~10 忽略 180~3,400

(数值为代表值,而非保证值。)

*1:条纹规格定义如下。1D:在一个方向没有条纹,3D:在三个方向没有条纹

*2:这意味折射率的均质性、针对有效区域Δn(PV)值的代表值。
关于更高均质材料的尺寸和保证值另行商量。

*3:所谓该适用波长,是指外部透光率80%/ cm以上的波长。

*4:以东曹SGM(株)设定的KrF及ArF耐准分子激光试验为基础另行协商。

◎代表性光学石英玻璃素材的透光特性

机械的、热的及电气特性

石英玻璃拥有其他物质所没有的特殊特性。例如,刚性模量、拉伸强度、抗弯曲强度等参数会随着温度提升而增长,但是到达最高温度800~1000℃之后,会随着粘度降低的影响而急速下降。

◎代表性光学石英玻璃素材的各种特性
项目 単位 ES*1 ED-C ED-H N, NP HR, HRP S OP-1,3 OP-3HD



密度 g / cm3 2.2 2.2 2.2 2.2 2.2 2.2 2.02 2.1
杨氏模量 GPa 74 74 74 74 74 74
刚性模量 GPa 31 31 31 31 31 31
泊松比   0.18 0.18 0.18 0.17 0.17 0.17
抗弯强度*2 MPa 94.3 94.3 94.3 94.3 94.3 94.3 60 67
抗压强度 MPa 1,128 1,128 1,128 1,128 1,128 1,128
拉伸强度*2 MPa 49 49 49 49 49 49
抗扭曲强度 MPa 29 29 29 29 29 29
维氏硬度 MPa 8,900 8,900 8,900 8,900 8,900 8,900 8,900 8,900


应变点
(η=1014.5)
970 970 1,060 1,070 1,120 1,060 1,050 1,050
徐冷点
(η=1013)
1,080 1,080 1,170 1,180 1,220 1,165 1,170 1,170
软化点
(η=107.6)*3
(1,720) (1,720) (1,720) (1,720) (1,720) (1,720) (1,720) (1,720)
平均线性热膨胀系数
30~600℃
x10-7/ ℃ 4.7 4.7 4.7 5.9 5.9 5.9 6.9 6.9
比热
20℃
J / kg・K 749 749 749 749 749 749 749 749
热扩散率
20℃
x10-7m2/ s 8.5 8.5 8.5 8.3 8.3 8.3 8.4 8.5
热导率
20℃
W / mK 1.38 1.38 1.38 1.38 1.38 1.38 1.24 1.33
粘度
(logη)1200℃
Poise 10.60 10.60 11.37 11.72 12.18 12.10 11.72 11.72



电容率 
500MHz
  3.9 3.9 3.9 3.9 3.9 3.9 3.7 3.8
介电质损耗
500MHz
x10-3 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1 <1
体积电阻 Ω 5×1015 5×1015 5×1015 3×1015 8×1015 4×1015
体积电阻系数 Ω・cm 1x1017 1x1017 1x1017 5x1016 1x1017 7x1016

(数值为代表值,而非保证值。)

*1:ESL-1,ESL-2,ESL-1000,ESL-2000的机械特性,热特性,电特性与ES的机械特性,热特性,电特性是同等的。

*2:抗弯强度以及拉伸强度会受到玻璃本身表面的状态而受到很大的影响(表面粗糙度,以及伤痕等)。

*3:以外插法方式从测量值计算出的外插值。

※若没有特别明确记载,表中的数值是25℃下的代表数值。