토소쿼츠주식회사

제품 정보

반도체용 제품

고순도와 내열성이 필요한 반도체 제조공정은 석영유리의 가장 중요한 응용분야 중 하나입니다. 최근, 이 분야에서는 공정자동화가 진행되면서 점점 고정밀도의 제품이 요구되고 있습니다. 또한, 반도체 제조에서 450mm 실리콘 웨이퍼 대응이나 대규모 처리를 필요로 하는 PV(태양전지), LED 관련 분야의 진전으로 석영유리 제품의 대형화(에의) 요구도 높아지고 있습니다. 이러한 대형화와 고정밀도화라는 상반되는 요구에 대해서도 당사는 앞으로도 고도의 가공기술로 부응해 나갈 것입니다.

LCD/유기EL 마스크기판

액정패널, 유기EL패널, 터치패널의 제조(노광) 공정에서 사용하는 포토마스크에는 광투과율이 높고, 열팽창계수가 매우 작은 합성석영유리가 사용되고 있습니다. 패널의 대형화에 따른 포토마스크의 사이즈도 대형화하고 있으며, 이 분야는 합성 석영유리의 주요 응용 분야가 되고 있습니다.

정밀가공제품

당사가 창립 당초부터 주력하고 있는 분야로 정밀가공 제품이 있습니다. 분광용 셀을 시작으로 분석/진단장비용 셀 등으로 라인업을 넓히는 동시에, 그 가공 기술을 응용하여 각종 석영정밀가공 제품을 제공하고 있습니다. 최근, 리소그래피 및 에칭을 기술 라인업에 추가해 더욱 응용 분야를 확대하고 있습니다.