제품 정보〈LCD/유기EL 마스크기판〉
as cut기판/연마기판
당사에서는 포토마스크의 재료인 마스크기판의 원료에 자외선 투과율, 레이저 내성, 순도에 뛰어난 토소 에스지엠 주식회사 제품인 포토마스크 전용 그레이드인 합성석영유리(ES재)를 사용하였으며, as cut기판, 연마기판으로 공급이 가능합니다. 또한, 포토마스크의 대형화 요구에 대해서는 세계 최대급의 대형 합성석영잉곳의 양산에 대응하며, 특히 as cut기판에 대해서는 제10세대 이상 대형품의 공급도 가능합니다.
◎as cut기판 표준규격
| 단변 (mm) | 장변 (mm) | 판두께 (mm) |
|---|---|---|
| 520 | 800 | 11 |
| 700 | 800 | 9 |
| 800 | 920 | 9 |
| 800 | 920 | 11 |
| 800 | 960 | 9 |
| 850 | 1,200 | 11 |
| 850 | 1,400 | 11 |
| 1,220 | 1,400 | 14 |
| 1,620 | 1,780 | 17 |
※상기 이외의 사이즈도 대응 가능합니다. 문의하시기 바랍니다.