제품 정보〈반도체용 제품〉
써멀 프로세스용 제품
CVD 공정이나 산화 · 확산공정에 필수인 튜브, 보트 등은 디바이스의 고도화 속에서 고내열, 고순도, 파티클 대책 등 나날이 고품질화하고 있습니다. 당사는, 최신 측정기술과 실적 있는 가공기술로 고도의 요구에 부응하고 있습니다. 또한, 대형화 요구에 대해서는 φ1000mm을 넘는 튜브나 플랜지 등의 대구경 석영유리 부재를 실현하고 있습니다.
-
튜브
-
플랜지
-
대형플랜지(불투명)
식각 프로세스용 제품
실리콘 웨이퍼의 대형화 및 에칭장비의 다양화로 에칭공정에서 사용되는 석영유리 제품에서는 표면균일성에 대한 품질요구가 엄격해짐과 동시에 미세화에 대한 요구도 거세지고 있습니다. 당사는 새로운 가공 방법의 도입과 가공 기술의 향상으로 고도화하는 요구에 대응하고 있습니다.
-
플레이트
-
링