東ソー・クォーツ株式会社

製品情報

半導体用製品

高純度と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、石英ガラスの最も重要な応用分野のひとつです。近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、ますます高精度な製品が求められるようになってきています。また、半導体製造での450mmシリコンウェハー対応や大規模処理を必要とするPV（太陽電池）、LED関連分野の進展により、石英ガラス製品の大型化への要求も高まってきています。この大型化と高精度化という相反する要求に対して、当社はこれからも高度な加工技術で応えていきます。

液晶／有機ELマスク基板

液晶パネル、有機ELパネル、タッチパネルの製造（露光）工程で使用するフォトマスクには光透過率が高く、熱膨張係数が非常に小さい合成石英ガラスが使用されています。パネルの大型化に伴いフォトマスクのサイズも大型化しており、この分野は合成石英ガラスの主要な応用分野になっています。

精密加工製品

当社が創立当初から取り組んでいる分野として精密加工製品があります。分光用セルに始まり分析／診断装置用セル等にラインナップを広げるとともに、その加工技術を応用して各種石英精密加工製品を提供しています。近年、リソグラフィーおよびエッチングを技術ラインナップに加え、更に応用分野を拡大しています。