製品情報〈液晶／有機ELマスク基板〉
アズカット基板／研磨基板
当社ではフォトマスクの材料となるマスク基板の原料に紫外線透過率、レーザー耐性、純度に優れた東ソー・エスジーエム株式会社製のフォトマスク専用グレード合成石英ガラス（ES材）を使用しており、アズカット基板、研磨基板での供給が可能です。また、フォトマスクの大型化要求に対しては、世界最大級の大型合成石英インゴットの量産で対応し、特にアズカット基板については第10世代以上の大型品の供給も可能です。
◎アズカット基板 標準サイズ
| 短辺（mm） | 長辺（mm） | 板厚（mm） |
|---|---|---|
| 520 | 800 | 11 |
| 700 | 800 | 9 |
| 800 | 920 | 9 |
| 800 | 920 | 11 |
| 800 | 960 | 9 |
| 850 | 1,200 | 11 |
| 850 | 1,400 | 11 |
| 1,220 | 1,400 | 14 |
| 1,620 | 1,780 | 17 |
※上記以外のサイズも対応可能です。お問い合わせください。